真空泵維修的注意事項和關鍵步驟，涵蓋安全、技術要點及常見故障處理，適用于旋片泵、羅茨泵、擴散泵等常見類型：
一、維修前準備
安全防護
斷電/泄壓：關閉電源，確認泵內真空降至大氣壓。
防護裝備：戴耐化學手套（防油污）、護目鏡（防碎屑）。
有害物質：若泵介質為有毒氣體（如氯氣），需先氮氣置換。
故障診斷
記錄癥狀：
抽速下降？異常噪音？油乳化？
使用真空計檢測極限真空度是否達標。
初步判斷：
油窗發白 → 進水乳化（需換油+檢查密封）。
金屬摩擦聲 → 軸承或轉子磨損。
二、維修關鍵步驟與注意事項
1. 放油與清潔
操作：
排空舊油（收集處理，避免污染）。
用無絨布+專用溶劑（如丙酮）清潔油箱，禁用汽油（腐蝕密封件）。
注意：
若油含顆粒物，需排查磨損源（如旋片碎片）。
2. 密封系統檢查
重點部位：
軸封（機械密封或油封）
排氣閥片（是否開裂）
O型圈（老化發硬需更換）
更換技巧：
涂硅脂潤滑新密封圈，避免扭曲安裝。
3. 轉子與旋片維護
旋片泵：
檢查旋片長度磨損（超過0.5mm需更換）。
測量轉子與泵腔間隙（標準通常≤0.05mm）。
羅茨泵：
檢查齒輪嚙合間隙（需專用塞尺測量）。
4. 軸承更換
選型：
優先原廠軸承（如NSK、SKF），禁用普通軸承（真空高溫易失效）。
安裝：
熱裝法（加熱軸承至80-100℃后套軸）。
5. 電氣部件檢測
電機：
測絕緣電阻（≥1MΩ）。
檢查碳刷磨損（直流電機）。
傳感器：
校驗真空傳感器讀數（對比標準計）。
維修后測試
空載試運行：
點動啟動，觀察電流是否正常（對比銘牌值）。
聽運行噪音（應無金屬摩擦/周期性異響）。
性能驗證：
用真空計測量極限真空（如旋片泵應達1×10?2 Pa級）。
保壓測試（關閉進氣閥，5分鐘內壓升≤10%為合格）。